Procédé d'amélioration de contraste dans des mesures de couplage par prisme de contrainte

Method of enhancing contrast in prism coupling measurements of stress

Abstract

L'invention concerne un procédé et un appareil d'amélioration de contraste dans des mesures de couplage par prisme de spectres de mode de guide d'ondes, l'échantillon de guide d'ondes mesuré ayant une région de surface d'indice diminuant rapidement, caractérisé par une pente normalisée > 0,0004. Un élément de blocage de lumière opaque est placé dans la partie du faisceau de lumière la plus proche du plan du contact entre un prisme et un échantillon mesuré, sur le côté entrée, le côté sortie ou les deux côtés du prisme. L'élément de blocage de lumière empêche la lumière provenant de la source de lumière d'atteindre une partie de la longueur de l'interface de couplage prisme-échantillon le long du trajet optique, empêche la lumière réfléchie à partir d'une partie de la longueur mentionnée ci-dessus d'atteindre le détecteur, ou les deux à la fois dans le cas où des éléments de blocage de lumière d'entrée et de sortie sont utilisés.
A method and apparatus for improving contrast in prism coupling measurements of waveguide mode spectra, wherein the measured waveguide sample has a surface region of rapidly decreasing index, characterized with normalized slope >0.0004. An opaque light-blocking element is placed in the portion of the light beam closest to the plane of the contact between prism and measured sample, on the input side, output side or both sides of the prism. The light blocking element prevents light from the light source to reach a portion of the length of the prism-sample coupling interface along the optical path, prevents light reflected from a portion of the aforementioned length to reach the detector, or both when input and output light-blocking elements are used.

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Patent Citations (2)

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NO-Patent Citations (2)

    Title
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